發布日期:2022-04-28 點擊率:28
UC9系列采用了Wasco的專有制造方法以及Elgiloy隔膜。它提供很高純度和不匹配的耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質的好的開關,精度高,公差小。
我們為下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境設計了這些開關。UC9系列的額定應用周期超過2,000,000個95B2。UC9系列有滿足或超過SEMI F20 UHP要求的材料選擇。根據SEMI F1,所有開關都經過氦泄漏測試,達到≤ 1 x 10-9標準立方厘米/秒。


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