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WASCO壓力開關UC9

發布日期：2022-04-28 點擊率：28

產品介紹

UC9系列采用了Wasco的專有制造方法以及Elgiloy隔膜。它提供很高純度和不匹配的耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質的好的開關，精度高，公差小。

性能特點

我們為下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境設計了這些開關。UC9系列的額定應用周期超過2，000，000個95B2。UC9系列有滿足或超過SEMI F20 UHP要求的材料選擇。根據SEMI F1，所有開關都經過氦泄漏測試，達到≤ 1 x 10-9標準立方厘米/秒。

技術參數

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產品尺寸

產品應用

煤氣箱

IGS氣體面板

氣體分配系統

閥門歧管箱

蝕刻和沉積系統

 

詳細參數

產品應用

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