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產(chǎn)品介紹

UC8系列采用了Wasco的專有制造方法以及Elgiloy隔膜。它提供很高純度和不匹配的耐腐蝕性。其全焊接結(jié)構(gòu)消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的好的開(kāi)關(guān)，精度高，公差小。

性能特點(diǎn)

我們?yōu)橄乱淮雽?dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境設(shè)計(jì)了UC8系列。UC8系列的額定應(yīng)用周期超過(guò)2，000，000個(gè)95B2。UC8系列有滿足或超過(guò)SEMI F20 UHP要求的材料選擇。根據(jù)SEMI F1，所有開(kāi)關(guān)都經(jīng)過(guò)氦泄漏測(cè)試，達(dá)到≤ 1 x 10-9標(biāo)準(zhǔn)立方厘米/秒。

技術(shù)參數(shù)

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產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應(yīng)用

煤氣箱

IGS氣體面板

氣體分配系統(tǒng)

閥門(mén)歧管箱

蝕刻和沉積系統(tǒng)

詳細(xì)參數(shù)

產(chǎn)品應(yīng)用