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NUMERIK JENA光柵尺Kit L2 vac,Kit L4 vac

發布日期：2022-04-28 點擊率：92

產品介紹

Kit L系列直線光柵尺特別設計用于個性化的應用。該系列產品不僅擁有極小的尺寸，更提供配置能力。該系列產品幾乎不限制設計師的設計自由。

性能特點

  • 特殊真空版的Kit L2帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）

  • 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）

  • 光柵尺部件滿足真空度達10 E-6 mbar（UHV）的氣壓要求

  • 1 Vpp或RS 422輸出信號

  • 多達100倍的細分信號

  • 最小測量步距僅50 nm

  • 運動速度達10 m/s（1 Vpp）

詳細參數

Kit L2 vac

Kit L4 vac

產品應用

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