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NUMERIK JENA光柵尺LIK21,LIK22,LIK23

發布日期：2022-04-28 點擊率：41

產品介紹

LIK系列光柵尺特別適用于安裝空間有限的應用。自帶2場EPIFLEX讀數模塊，也適用于惡劣的應用環境。

性能特點

  • 外殼版本1的LIK 21

  • 帶EPIFLEX讀數模塊（2場掃描）

  • 個性化的配置

  • 1 Vpp或RS 422輸出信號

  • 多達100倍的細分信號

  • 最小測量步距僅50 nm

  • 運動速度達10 m/s（1 Vpp）

  • 2場掃描，更強抗污能力

  • 提供真空特殊版

技術參數


詳細參數

LIK21


LIK22


LIK23


產品應用

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