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SMC PFM711S-N02L-E-M 流量傳感器 產品樣本手冊 Datasheet
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數字流量開關-pfm7系列

SMC 的 PFM 系列為雙流量開關，設計用于檢測真空中的微芯片元件吸收以及過濾器和噴嘴中的擁塞。 緊湊型輕便設計，適用于二氧化碳、空氣、氮氣或氬氣。

流率范圍:10、25、50,100l/min
最小單位設置:0.01l/min
重復性:±1%F.S. 或更低！
潤滑脂-自由
流量調節閥集成-減少布管和節省空間的
響應時間可設置