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    電渦流式傳感器是基于電磁感應(yīng)原理的電渦流效應(yīng)制成，它具有結(jié)構(gòu)簡單、頻率響應(yīng)寬、靈敏度高、測量線性范圍大、抗干擾能力強(qiáng)、體積小、非接觸測量等優(yōu)點(diǎn)。可用于位移、振幅、厚度、表面溫度、流體的壓力、金屬件的膨脹系數(shù)等的測量。

    電渦流的作用原理如圖1所示，成塊的金屬物體置于變化的磁場中，或者在磁場中運(yùn)動衫，在金屬導(dǎo)體中會感應(yīng)出一圈圈自相閉合的電流，稱為渦流。渦流的大小與金屬道題的電阻率ρ、磁導(dǎo)率μ，厚度t、線圈與金屬導(dǎo)體的距離x，

圖1 電渦流傳感器原理圖

以及線圈勵磁電流的角頻率ω等參量有關(guān)，如固定其中某些參數(shù)，就能按渦流的大小測量出另外一些參數(shù)。

圖2 渦流式傳感器的工作等效電路

渦流式傳感器的工作等效電路如圖2所示，由該等效電路可以寫出兩個電壓平衡方程：

有以上方程可以求出空心線圈等效電阻，等效電感及等效品質(zhì)因數(shù)分別為

由以上可以看出，當(dāng)線圈接近金屬導(dǎo)體時，電氣參數(shù)、、等均為M值的函數(shù)，即為靠近距離的函數(shù)，所以，凡是能夠引起渦流變化的非電量，如金屬的電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率、幾何形狀、線圈與導(dǎo)體的距離等，均可通過測量等效電阻、等效電感、等效品質(zhì)因數(shù)來測量