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類型分類:
科普知識
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內接式連接器

抽真空檢漏法

發布日期:2022-11-05 點擊率:47

    被檢容器和檢漏儀器的敏感元件處于真空狀態,示漏物質施加在被檢容器的外部,如有漏孔存在,示漏物質便通過漏孔被吸入容器和儀器敏感元件空間,由敏感元件檢測出示漏物質的存在,從而可判定漏孔的位置和大小。

檢漏方法

工作壓力Pa

現象

設備

最小可檢漏率Pa*L/s

靜態升壓法


靜態壓力上升

真空計

10-2~10-3

放電管法


放電顏色改變

放電管

1~10-1

高頻火花檢漏器法

103~5x10-1

亮點,放電顏色改變

高頻火花檢漏儀

1~10-1

熱傳導真空規法

103~5x10-1

真空計讀數變化

熱偶或電阻真空計

10-3

電離真空規法

10-2~10-6

電離真空計

10-6

差動熱傳導真空規法

103~10-1

熱傳導真空計差動組合

10-4

差動電離真空規法

10-2~10-6

電離真空計差動組合

10-7

具有吸附阱的熱傳導真空規法


熱傳導規液氮活性炭阱

10-4

具有吸附阱的電離真空規法


冷陰極電離規,液氮硅膠阱

10-7~10-10

氫鈀法

50~10-5

氫通過鈀管使真空計讀數變化

鈀管、電離真空計

10-4~10-8

鹵素檢漏儀內探頭法

10~10-1

儀表讀數變化

鹵素檢漏儀

10-4~10-6

離子泵檢漏法

10-4~10-7

離子流變化

離子泵本身

10-6~10-9

氦質譜檢漏儀法

10-2

輸出表及音響頻率變化

氦質譜檢漏儀

10-7~10-9

四極質譜計分析法

10-2

輸出表及音響頻率變化

四極質譜計

10-9


(慧樸科技,huiputech)


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