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    結(jié)構(gòu)材料是構(gòu)成真空系統(tǒng)主體的材料，包括殼體材料和真空系統(tǒng)內(nèi)部的各種結(jié)構(gòu)和機構(gòu)所用材料，真空系統(tǒng)的主體包括：真空室、真空泵、真空元件、真空規(guī)管等，其中殼體將真空與大氣隔開，承受著大氣壓力。

    常用結(jié)構(gòu)材料主要是金屬和玻璃，還有一些管道使用真空橡膠管或有金屬加強的塑料管，金屬機械強度好，玻璃透明，便于觀察設(shè)備內(nèi)部的情況；電絕緣，可從外部對內(nèi)部的金屬零件采用高頻加熱；能用高頻火花槍檢漏,加工方便等。但玻璃材料質(zhì)脆、易碎，不容易制作成較大容積的容器。目前大多數(shù)真空系統(tǒng)都使用金屬材料。使用波紋管、金屬盤管、真空橡膠管或有金屬加強的塑料管，可以實現(xiàn)兩部件之間的軟連接，安裝方便，隔絕震動，而且價格便宜。

    結(jié)構(gòu)材料應(yīng)符合以下要求：

    a足夠的機械強度和剛度，對于殼體應(yīng)能承受大氣壓力，對于內(nèi)部構(gòu)件,應(yīng)具有需要的強度；

    b具有可加工性，并容易封接、焊接；

    c具有足夠的氣密性，要求材料不存在孔狀結(jié)構(gòu)，無裂縫、氣泡及其他可能導(dǎo)致漏氣的缺陷；

    d足夠低的飽和蒸氣壓；

    e材料內(nèi)部溶解的氣體和表面吸附的氣體量足夠??；

    f足夠小的氣體滲透率；

    g化學(xué)穩(wěn)定性好，在工作條件下不分解，不與其他材料發(fā)生不需要的化學(xué)反應(yīng)；

    h熱穩(wěn)定性能好，在系統(tǒng)工作溫度下，具有需要的力學(xué)性能和真空性能；

    i對于超高真空系統(tǒng)應(yīng)能承受必要的烘烤，且容易去氣；

    j與系統(tǒng)的工作要求兼容，不影響系統(tǒng)的其他性能。

(慧樸科技,huiputech)