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低頻加速度 傳感器 的技術原理及特點

振動 量值的物理參數常用位移、速度和加速度來表示。

由于在通常的頻率范圍內振動位移幅值量很小且位移、速度和加速度之間都可互相轉換，所以在實際使用中振動量的大小一般用加速度的值來度量。

常用單位為：米/秒2（m/s2）或重力加速度（g）

描述振動信號的另一重要參數是信號的頻率，絕大多數的工程振動信號均可分解成一系列特定頻率和幅值的正弦信號。因此對某一振動信號的 測量 實際上是對組成該振動信號的正弦頻率分量的測量，對傳感器主要性能指標的考核也是根據傳感器在其規定的頻率范圍內測量幅值精度的高低來評定。

傳感器的靈敏度、低頻噪聲特性、動態響應范圍用于低頻測量的傳感器。

一般要求有比較高的靈敏度以滿足低頻小信號的測量，但靈敏度的增加往往是有限的。雖然加速度傳感器靈敏度是能達到10V/g或更高，但是靈敏度高往往帶來其他的負面效應。

比如傳感器的穩定性，抗過載能力，以及對周邊環境干擾的敏感性。因此追求過高靈敏度并不一定能解決微小信號的測量，相反高分辨率和低噪聲的傳感器在工程應用中往往更容易解決實際問題。所以選用具有低電噪聲的傳感器在低頻測量中尤為重要。為了表明傳感器所能測量的最小信號大部分商業化的加速度計也都提供分辨率或電噪聲指標。

國內絕大部分傳感器的寬帶電噪聲指標一般都標為20μV，然而對低頻小信號測量來說，僅提供寬頻帶的電噪聲并不能完全反映傳感器在低頻范圍內加速度測量的分辨率；這是因為由內置 電路 引起的低頻噪聲大小與頻率的倒數成正比，即所謂1/f噪聲，當測量頻率很低時傳感器的電噪聲輸出按指數幅度增長。所以傳感器的低頻電噪聲的數值與寬帶電噪聲指標是完全不同的而且頻率越低這種差別越明顯。

因此用于甚低頻測量的傳感器其分辨率常用傳感器輸出電噪聲的功率譜密度表示。此指標的實用意義是傳感器在特定頻率下的噪聲大小，其單位是一般用（μV/√Hz）或（μg/√Hz）來表示。