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　　近期，科技部組織召開了863計劃“水陸交通安全傳感器及系統”和“汽車電子穩定程序（ESP）微傳感器及系統”課題驗收會。驗收專家聽取了課題匯報，審查了相關資料，進行了現場考察并觀看了成果演示，一致同意兩課題通過驗收。

　　“水陸交通安全傳感器及系統”課題針對水路交通和公路交通安全需求，基于MEMS矢量水聽器開展了水路交通安全避障系統研究，解決了MEMS矢量水聽器批量化制造、封裝、集成等關鍵技術；基于溫度、鹽度、水膜、變頻等傳感器開展了路面傳感器系統研究，解決了多傳感模塊集成化和相關軟件算法等關鍵技術。MEMS矢量水聽器完成了800套產品的示范應用，并具備了小批量生產能力；路面傳感器系統完成了5027套產品的合同銷售，具備了批量生產能力，實現了實際應用。該課題成果促進了我國水路交通安全避障系統的發展，實現了我國路面傳感器系統國產化并促進了其推廣應用。

　　“汽車電子穩定程序（ESP）微傳感器及系統課題是針對ESP（汽車電子穩定程序，下同）高性能、低成本和高可靠性的應用目標，開展了MEMS（微機電系統，下同）陀螺儀和加速度傳感器設計、MEMS慣性器件批量制造與測試、低成本塑封空腔外殼集成封裝、ESP系統研制及傳感器驗證等研究，突破了MEMS陀螺儀數字閉環系統設計、圓片級真空封裝、低應力塑封、圓片級在片測試、MEMS傳感器成品率控制等關鍵技術。在陀螺儀數字化電路、注塑空腔封裝、MEMS陀螺儀和加速度傳感器在片自動測試等方面有所創新，開發出了基于自主研制MEMS陀螺儀和MEMS加速度傳感器的汽車ESP系統，可靠性滿足汽車環境標準，完成汽車應用環境試驗和路試，實現了示范應用。