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產(chǎn)品分類

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類型分類:
科普知識
數(shù)據(jù)分類:
加速度傳感器

MEMS加速度傳感器用于中等精度導(dǎo)航系統(tǒng)

發(fā)布日期:2022-10-09 點擊率:52

  簡介

  中等精度導(dǎo)航系統(tǒng)  (IMU), AHRS 和控制系統(tǒng)需要陀螺儀和加速度傳感器來預(yù)測在自由空間中的運動物體的位置。加速度傳感器被用于執(zhí)行初始調(diào)平和糾正在移動中的陀螺漂移。

  在此文章中,我們將比較目前正處在開發(fā)中的 Colibrys  ±10g 加速度傳感器MS9010.D  和 RS9010.A 的主要參數(shù),用以支持系統(tǒng)設(shè)計者,并以此作為選擇最佳加速度傳感器的準則。我們將對四個主要參數(shù)進行比較,它包括:零偏重復(fù)性,標度因數(shù),軸對準性和振動整流誤差。MS9010.D 的長期零偏重復(fù)性小于5mg,通常 RS9010.A 樣品的第一次測量結(jié)果小于 1.5mg。MS9010.D 標度因數(shù)重復(fù)性可達到 400ppm。RS9010.A 更可達到150ppm。此外,RS9010.A 的振動整流誤差有小于 100μg/g2的潛力。

  考慮到不同類型的需求,  Colibrys  為 AHRS 制造商提供了大量加速度傳感器的選擇,  從提供最佳性- 價比的標準產(chǎn)品 MS9010.D 和MS9005.D 到將代表高性能系統(tǒng)最佳選擇的 RS9010.A 。也可提供±2g 和±200 克之間的各種量程g。
 


MS9100 產(chǎn)品,多 g 量程與穩(wěn)定性的結(jié)合
  

   特點 

  量程從±1g 到 ±200g  
  長期零偏穩(wěn)定性 
  低整流誤差 
  超小型20 引腳LCC 陶瓷氣密性封裝(8.9mm x 8.9mm)
  適用于惡劣環(huán)境
  小尺寸體積
  符合 RoHS 標準,適用于無鉛焊接過程和SMD 安裝

  選擇慣性加速度傳感器產(chǎn)品主要差異是零偏長期穩(wěn)定性,標度因數(shù)穩(wěn)定性和軸對準的可重復(fù)性。這些參數(shù)之所以重要是因為任何輸出信號的偏差將在集成過程中對定位造成 2 倍以上的誤差。對于一個以很快的加速度飛行幾分鐘的物體,這可能轉(zhuǎn)化為一個定位上的大誤差。而且,由于發(fā)動機或其它來源的鄰近效應(yīng),在加速度傳感器被安裝的環(huán)境周圍經(jīng)常會遇到一些振動,這些振動對于傳感器輸出信號的影響被稱為振動整流誤差。對于許多應(yīng)用來說,產(chǎn)品對于外部振動具有非常低的敏感性是最為重要的。

  MS9010 加速度傳感器

  多年以來,Colibrys 一直為中等精度導(dǎo)航系統(tǒng)和標準航姿系統(tǒng)(AHRS)的應(yīng)用提供產(chǎn)品,例如 MS8010.D, 以及最近的 MS9010.D 和 MS9005.D。


  對于量程為±10g 的測量,它們總的長期零偏穩(wěn)定性優(yōu)于 7.5mg,對于量程±5g,優(yōu)于 3.75mg,其標度因數(shù)重復(fù)性優(yōu)于 400ppm。圖 1 顯示了對于各種量程 MS9000.D 的一年零偏穩(wěn)定性的測量結(jié)果。該分析結(jié)果還包括:在 85°時進行10天的加速老化實驗,這對應(yīng)于 18 個月的標準壽命時間,以及對加速度傳感器為期 0.2 毫秒,1000g 的從六個方向進行的沖擊。

  MS9000 已經(jīng)展現(xiàn)了其出色的抗沖擊性能以及沖擊后優(yōu)異的穩(wěn)定性。這使得該產(chǎn)品可適應(yīng)于一些對抗沖擊性有很高要求的應(yīng)用中。我們也開發(fā)了抗震性高達20’000g 的專門解決方案 (HS8000 和 HS9000) 。


  圖示 1:   零偏穩(wěn)定性包括在 85°, 1000g 撞擊下進行10天的加速老化實驗(相當(dāng)于18個月的標準壽命時間),對于±2g到±100g 產(chǎn)品組合。


  RS9010 加速度傳感器

  為了應(yīng)對新的高端需求,Colibrys 目前正在開發(fā)一個新的技術(shù)平臺稱為IRIS™。它包括一個新穎的 MEMS 傳感元件,一個開環(huán) ASIC 和一個溫度傳感器,它們被安置在一個有 20 個引腳的標準 LCC 封裝系統(tǒng)內(nèi)。RS9010.A 是被設(shè)計和制造以應(yīng)用于高精度、中等量程的航姿系統(tǒng) (AHRS) 。


  圖示 2: MS9010.D (LCC20: 內(nèi)部和封蓋) 和 RS9010.A (LCC20 在評估板上).


  IRIS?技術(shù)包含三個主要的改進:新的 MEMS 傳感器設(shè)計,MEMS 組裝技術(shù)和電子接口的改進。新型 MEMS 元件是專為獲得高零偏和高標度因數(shù)穩(wěn)定性而設(shè)計的。這個設(shè)計是通過了解傳感元件的物理機械性能,分析造成漂移的機制,并設(shè)計能避免這個機制的傳感器而實現(xiàn)的。IRIS?采用最新的 MEMS 制造技術(shù),如深層離子刻蝕技術(shù)(DRIE)和硅熔融鍵合技術(shù)(SFB)。這些技術(shù)保證了工藝的高度一致和可預(yù)測性,從而保證了高成品率和產(chǎn)品的可重復(fù)性

  以下四張圖顯示了 RS9010.A 加速度傳感器的初步表現(xiàn)。我們可以看到,經(jīng)過沖擊和長期老化后,所有的零偏漂移包括遲滯都優(yōu)于1.5mg,  且標度因數(shù)穩(wěn)定性優(yōu)于150ppm。此外,RS9010.A 的振動整流誤差可比擬機電(Q-FLEX)規(guī)格。這些綜合性能使得 RS9010.A成為未來的高性能航姿系統(tǒng)的最佳候選產(chǎn)品之一。


  圖 3: 剩余偏置隨溫度而變化(經(jīng)過 4 階多項式校正之后) 包括在 85℃下老化、并以 1000g 沖擊 10 天  


  圖 4: 剩余標度因數(shù)隨溫度而變化 (經(jīng)過 2 階多項式校正之后) 包括溫度遲滯


  圖 5: 在整個溫度范圍的軸偏穩(wěn)定性(經(jīng)過2 階多項式校正之后), 沖擊和加速老化  


  圖 6:  在20至500Hz和500至2000Hz頻率范圍,RS9010.A振動整流誤差<100μg/g2。此圖形由37只不同的傳感器疊加而成


  這幾張圖清楚地表明,相對于性能良好的MS9010.D產(chǎn)品,RS9010.A是一個真正的改進。下圖進一步表明了在整個溫度范圍內(nèi),RS9010.A 長期溫度系數(shù)的性能有所改善。
這表明長期穩(wěn)定性的提高。
  
  結(jié)論

  Colibrys公司一直為中等精度的導(dǎo)航系統(tǒng)(IMU)和AHRS 研發(fā)與提供不同的加速度傳感器設(shè)計 。

  MS9010.D和MS9005.D具有約 5mg 的整體長期偏置穩(wěn)定性,對于一個標準的航姿系統(tǒng)表現(xiàn)了最好的性價比。例如:它們被專用于小型飛機和飛機導(dǎo)航,備份解決方案或無人駕駛飛行器(UAV)的一般輔助。這也是在沖擊和振動的惡劣環(huán)境應(yīng)用中的最佳解決方案。

  無人機的例子


  目前,新型的 RS9010.A 正在開發(fā)中,其總目標是使長期零偏重復(fù)性達到1.5mg,  它已經(jīng)顯示出了出色的振動整流特性,在量程為10g時,其數(shù)值低于100μg/g2。這些性能證明:對于未來高精度航姿系統(tǒng)的應(yīng)用,如無人機,大型民用飛機,直升機和陸軍或海軍導(dǎo)航以及中等精度低g導(dǎo)航系統(tǒng)(IMU),RS9010.A 都是最佳選擇之一。

  
  這種產(chǎn)品已于于 2011 年底公布。

  MS9010.D 和MS9005.D 加速度傳感器在中國地區(qū)的市場推廣由北京賽斯維測控技術(shù)有限公司負責(zé)。查看技術(shù)參數(shù)或更多產(chǎn)品信息可登陸www.sensorway.cn 或撥打產(chǎn)品咨詢熱線010-84775646,84775648。

  

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