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　　當半導體的表面跟待測的氣體相接觸時，就會形成電導率等一些物理性質的變化，它就是利用這個原理來檢測氣體的。當氣體和半導體之間作用的時候，形成的變化就只限于深入到半導體的內部或者是半導體的表面，按照這兩種變化，可以把它分為體控制型和表面控制型。 

　　半導體氣敏元件的有關特性參數分為恢復時間、初期穩定時間、響應時間、分辨率、靈敏度和電阻值。

　　初期穩定時間：如果氣敏元件在很長時間內沒有使用過，那么它的表層就會吸附空氣中的一些氣體和水分，這樣會改變它的表層的狀態。多了負電荷之后，如果溫度升高了，那么氣敏元件就會發生解吸的現象。所以，如果氣敏元件很長一段時間沒有工作后，要恢復到平時正常的工作狀態，就需要稍等一段時間，這就叫做氣敏元件的初期穩定時間。

　　恢復時間：處在工作的有關溫度下，待測的氣體在此元件上面的解吸的速度，一般是從被測的氣體和氣敏元件相互脫離的時候開始計時，當它的阻值達到平時在清潔的空氣之中的阻值的百分之六十三的時候停止計時，這個時間段就是氣敏元件的恢復時間。

　　響應時間：在工作的時候，氣敏元件對待測氣體的反應的速度。

　　分辨率：氣敏元件對干擾氣體的抑制的能力和待測氣體的選擇。

　　靈敏度：氣敏元件對待測氣體的敏感程度。它代表待測氣體的濃度和氣體敏感元件的電參量之間的關系。

　　電阻值：在常溫的狀態下，把電阻型的氣敏元件在清潔的空氣中的電阻值叫做氣敏元件的固有電阻值。 

　　對半導體氣體傳感器要求的基本的性能有：實時性，就是說它的動態性能要好；重復性，傳感器可以重復使用很多次，而且穩定性好和使用壽命較長；選擇性，可以根據所需要的要求測量出氣體的濃度，而且不會受到其他氣體和其他物質的干擾。

　　半導體氣體傳感器的應用是非常廣泛的，它的成本很低、使用的壽命長、恢復的時間和響應的時間比較快以及靈敏度很高，因此對它的使用是越來越普遍的。