美女网站一区二区_在线观看日韩毛片_成人在线视频首页_欧美精品一区二区三区久久久_国产精品亚洲一区二区三区在线_日本免费新一区视频_日本美女一区二区三区_精品亚洲成a人_久久不见久久见免费视频1_91首页免费视频_欧美一区二区在线看_91精品91久久久中77777_天堂蜜桃一区二区三区_av在线一区二区_欧美不卡一区二区_欧美影视一区二区三区

　　由于微陀螺的輸出信號非常微弱，為了提高響應幅值，總是希望陀螺儀工作在共振狀態，且品質因數Q的數值要足夠大。過高的驅動頻率會使驅動模態和檢測模態的剛度值過大，從而使陀螺儀靈敏度降低。因此，從微陀螺儀結構設計的角度考慮，提高微陀螺儀分辨率的途徑在于提高陀螺儀的驅動振幅和品質因數。此外，在不影響靈敏度的前提下，適當提高驅動頻率也是可取的。

　　響應特性分析包括諧響應分析和瞬態響應分析。諧響應分析是用于確定結構在承受隨時間按正弦規律變化的載荷時的穩態響應的一種技術。微陀螺都有驅動和檢測兩個模態，一般情況下，使兩個模態的固有頻率完全一致比較困難，總存在一個差值。這就面臨著如何調整驅動頻率，使輸出響應達最大值的問題。運用有限元諧相應分析法可以較好地解決這個問題。瞬態響應分析則可仿真陀螺儀在大加速度沖擊時的變形以及所承受的應力情況，是研究微慣性器件抗過載特性的必要手段。硅微機械振動陀螺儀大多采用靜電驅動、電容檢測的方式。通過靜電場分析，可以分析計算靜電驅動力矩、電容信號器的電場分布和阻尼孔的排列等問題。

　　目前國內研制的振動輪式硅微陀螺儀都采用這種加工工藝來制作。微慣性儀表制造工藝的一項主要技術是封裝技術。由于微機械陀螺儀只有工作在一定的真空度下，才能滿足性能要求。因此，如何進行真空封裝，并保持一定的穩定性，是微機械陀螺儀從實驗室走向實際應用的關鍵工序，必須引起足夠的重視。計算機集成微制造單元目前在IC工業中，有很多CAD系統可用于集成電路的設計，極大地提高了設計效率。但它們中的大部分卻不適用于MEMS的計算機輔助設計。由于MEMS在結構和制造工藝上的特殊性，需要對MEMS的三維結構進行多物理場的計算機輔助分析，并通過計算機對工藝和掩膜過程進行模擬，以使設計人員在設計階段就能進行方案的比較和驗證，并充分考慮工藝的變化對器件性能的影響，在制造以前能夠充分檢驗工藝及掩膜的有效性。