最新一代CMOS和CCD圖像傳感器具有更大的頻譜寬度、更高的靈敏度、更低的工作噪聲和更小的外形尺寸。更先進(jìn)的制造工藝還實(shí)現(xiàn)了更低的成本。此外，創(chuàng)新架構(gòu)也正在給電路設(shè)計(jì)帶來更大的靈活性和通用性。
其結(jié)果是，圖像傳感器現(xiàn)已被廣泛用于手機(jī)、筆記本和膝上電腦、數(shù)碼相機(jī)、視頻游戲機(jī)、玩具、醫(yī)療設(shè)備、汽車、安全設(shè)備、工業(yè)設(shè)備和許多其它應(yīng)用。IC Insights公司預(yù)測，CMOS和CCD圖像傳感器在今后5年內(nèi)的年復(fù)合增長率(CAGR)將達(dá)到14%。這兩種類型圖像傳感器都已找到廣泛的應(yīng)用，但CMOS圖像傳感器前景尤其好，預(yù)計(jì)到2012年，它所占的市場份額將從去年的58%上升到73%。
與大多數(shù)電子設(shè)備一樣，性能和成本將仍然是CMOS和CCD圖像傳感器面臨的主要問題。雖然CMOS圖像傳感器預(yù)計(jì)會有更多的應(yīng)用，但在要求高性能的應(yīng)用中仍要求使用CCD圖像傳感器。這不是簡單的哪種圖像傳感器更好的問題。根據(jù)具體應(yīng)用對性能和成本因素的考慮，CMOS或CCD傳感器都有可能是最佳的選擇。
CMOS圖像傳感器通常要比CCD圖像傳感器便宜，因此毫無疑問在許多強(qiáng)調(diào)低成本的消費(fèi)電子產(chǎn)品中都能找到CMOS圖像傳感器。它的性能一直在不斷地提高，現(xiàn)在它已經(jīng)進(jìn)入了傳統(tǒng)上被CCD圖像傳感器一統(tǒng)江山的汽車安全應(yīng)用中，因?yàn)樗男阅芸梢宰屓私邮?，而且成本又更低?/p>
CCD圖像傳感器具有更高的性能，可以滿足工業(yè)和機(jī)器視覺檢查應(yīng)用、以及安全系統(tǒng)、科學(xué)與軍事航空應(yīng)用的要求。它們也在一些縫隙市場找到了應(yīng)用，如天文和醫(yī)療等專業(yè)領(lǐng)域。CCD圖像傳感器的成本也在不斷下降，但性能仍遠(yuǎn)超CMOS圖像傳感器。
CMOS圖像傳感器性能在提高
CMOS圖像傳感器正在滿足由多種參數(shù)(如更大帶寬和全幀快門能力)決定的許多系統(tǒng)要求。新的設(shè)計(jì)和制造建議及其實(shí)現(xiàn)將推動它們的性能變得更高。
美國NASA的噴氣推進(jìn)實(shí)驗(yàn)室(JPL)提出的一種新想法將有效地降低圖像傳感器的散射串?dāng)_。研究人員建議在每個CMOS像素上增加兩種植入物，它們可以影響成像器中使用的MOSFET和像素光敏二極管之間的垂直隔離度(圖1)。他們認(rèn)為，這種隔離可以同時優(yōu)化MOSFET和光敏二極管的性能，消除或顯著降低串?dāng)_與噪聲，同時提高靈敏度、空間分辨率和色彩保真度。
圖1：與傳統(tǒng)成像器(左)相比，建議的這種CMOS成像器像素器件采用更深的p和n井結(jié)構(gòu)，可以顯著降低串?dāng)_，提高成像器的總體敏感度和色彩保真性。
在經(jīng)常出現(xiàn)的困難和不利條件下完成圖像同步和操作(特別在機(jī)器視覺自動化檢查應(yīng)用中)，是CMOS圖像傳感器設(shè)計(jì)師面臨的很大挑戰(zhàn)。業(yè)界傳統(tǒng)上依靠利用行間傳送技術(shù)的CCD圖像傳感器來實(shí)現(xiàn)高速快門，以獲得清晰的圖像。
最近取得的CMOS圖像傳感器進(jìn)步已經(jīng)使這種傳感器能夠成功進(jìn)入機(jī)器視覺應(yīng)用中。憑借并行輸出、窗口調(diào)整和片上集成等優(yōu)勢，一些CMOS圖像傳感器現(xiàn)在已經(jīng)能夠與某些機(jī)器視覺應(yīng)用中使用的CCD圖像傳感器相媲美。
例如，Cmosis公司的CMOS圖像傳感器就具備全幀快門功能。由于采用了管道式全幀快門像素技術(shù)，這種成像系統(tǒng)可以在數(shù)據(jù)讀取過程中捕捉下一個幀。它的原理是在圖像傳感器的每個像素中集成一個存儲器節(jié)點(diǎn)，在圖像捕捉步驟完成后信號將被傳送到這個節(jié)點(diǎn)。
存儲節(jié)點(diǎn)具有特別低的寄生光敏感性。每個像素讀出時都具有很低的噪聲和很寬的動態(tài)范圍。Cmosis公司還開發(fā)出了安裝在傳感器像素列中的快速ADC。
Dalsa公司也開發(fā)出了具有高速快門功能的行間傳送CMOS圖像傳感器。這些傳感器可以提供許多機(jī)器視覺應(yīng)用所要求的敏感度、信號容量、噪聲性能和動態(tài)范圍。
Photonfocus公司在其A1312 CMOS圖像傳感器采用了自己的LinLog專利技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)快速快門和高達(dá)120dB的寬動態(tài)范圍。該傳感器具有1312×1028像素分辨率，每個像素尺寸是8×8μm，在最高分辨率下的工作速度可達(dá)110幀/秒。
隨著CMOS圖像傳感器像素尺寸的不斷縮小，維持圖像傳感器的性能和圖像質(zhì)量變得越來越困難。背面照射技術(shù)是其中的一種解決方案。通過與臺積電(TSMC)公司的合作，OmniVision公司相信它已經(jīng)用OmniBSI方法找到了成功的秘訣(圖2)。OmniVision現(xiàn)在可以用1.4μm工藝為手機(jī)生產(chǎn)800萬像素的CMOS圖像傳感器。
圖2：與傳統(tǒng)的前面照射方法(左)相比，背面照射(右)CMOS成像器像素可以提供更高的填充因子，因而能提高低亮度條件下的靈敏度。這種技術(shù)已被用于OmniVision公司的OmniBSI工藝。
Sony公司在背面照射技術(shù)方面也取得了成功。該公司已經(jīng)用1.75μm工藝生產(chǎn)出了手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)和攝像機(jī)用的500萬像素CMOS圖像傳感器。ST公司則通過與法國CEA Leti和Tracit Technologies公司的合作，成功展示了利用背面照射技術(shù)在1.45工藝上制造300萬像素CMOS圖像傳感器的可行性。
圖像質(zhì)量在改善
更高性能CMOS圖像傳感器滲透進(jìn)入消費(fèi)電子市場的一個明證是ST的首個0.25英寸光學(xué)格式315萬像素CMOS圖像傳感器。據(jù)ST介紹，VD6853和VD6803圖像傳感器采用1.75μm工藝制造，可以提供杰出的圖像質(zhì)量，對焦距離可短至15厘米(圖3)。
圖3：意法微電子公司的315萬像素VD6853和VD6803 CMOS圖像傳感器可以為手機(jī)提供高質(zhì)量的圖像，并且景深可淺至15厘米。
包含四通道反虛光電路的嵌入式圖像增強(qiáng)濾波器可以平衡不均勻的照明，也可以在攝像時進(jìn)行缺陷校正。這些圖像傳感器可以用在手機(jī)、筆記本相機(jī)、玩具、甚至機(jī)器視覺應(yīng)用中。VD683提供10位并行接口，VD6803提供CCP2接口。
最近，韓國三星推出了一款0.25英寸光學(xué)格式的120萬像素SoC圖像傳感器，最大分辨率為1280×960像素。用于筆記本和臺式機(jī)的S5K4AW CMOS圖像傳感器通過將圖像分成2×2的組來滿足高清晰度實(shí)時視頻應(yīng)用的特殊需求，而且無需修剪就能顯示標(biāo)準(zhǔn)VGA格式的圖像。
在今年的IEEE國際固態(tài)電路會議(ISSCC)上，佳能公司展示的一款330萬像素CMOS圖像傳感器承諾可以為移動設(shè)備提供更高質(zhì)量的視頻和圖像處理能力。這個高性能是通過使用將噪聲降低30%的新的列讀取電路實(shí)現(xiàn)的。
在今年2月份舉行的2009年全球移動大會上，OmniVision在整合了傳感器功能和富士通微電子公司移動Milbeaut M-5M0圖像信號處理器的平臺上展示了用于手機(jī)的800萬像素CMOS圖像傳感器。該傳感器基于OmniVision的OmniBSI架構(gòu)，并采用1.4μm工藝制造。
OmniVision今年初推出了用于筆記本網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)的最新產(chǎn)品OV7740。這是一款小尺寸低功耗的CMOS圖像傳感器，可以提供6800mV/lux-s的極佳靈敏度。它的工作速度在VGA分辨率時可達(dá)60幀/秒，在QVGA分辨率時可達(dá)210幀/秒。該傳感器也可用于汽車安全應(yīng)用。
OmniVision另外還推出了一款用于超薄手機(jī)的CameraCube圖像傳感器。這是一款三維可回流焊的相機(jī)全面解決方案，在2.5×2.9×2.5mm的微型封裝內(nèi)集成了全功能的單芯片圖像傳感器、嵌入式圖像處理器和晶圓級光學(xué)器件。這款圖像傳感器有兩種型號，一種是提供400×400像素分辨率的OVM6680，另一種是提供VGA分辨率的OVM7690。
最新一代數(shù)字單反(SLR)相機(jī)被證明是CMOS圖像傳感器的極佳應(yīng)用目標(biāo)。Micron公司的Aptina是一種比較著名的圖像傳感器產(chǎn)品。據(jù)報道，該公司正在制造可用于數(shù)字單反相機(jī)的900萬像素VGA晶圓級CMOS相機(jī)模塊MT9V113M02STC。
索尼已經(jīng)開發(fā)出一種用于數(shù)字單反相機(jī)的35毫米全尺寸CMOS圖像傳感器，有效像素達(dá)2481萬，采用的是索尼列并行模數(shù)轉(zhuǎn)換技術(shù)。這種圖像傳感器中的每個像素列都有自己的ADC，可以將模擬處理過程中產(chǎn)生的噪聲引起的圖像質(zhì)量劣化降至最小，同時提供特別高的信號轉(zhuǎn)換速度。
Eastman Kodak公司也推出了更先進(jìn)的用于手機(jī)和數(shù)字單反相機(jī)的CMOS圖像傳感器，它采用新一代彩色濾波器模式，靈敏度是CMOS和CCD圖像傳感器的2倍以上。這種方法與廣泛使用的、按紅、綠、藍(lán)像素排列的Bayer濾波器模式(也是柯達(dá)公司開發(fā)的)不同，增加了頂部沒有色素的第4個像素。
CMOS圖像傳感器也正在鋪平到新的消費(fèi)電子和專業(yè)應(yīng)用中的道路，如RIDGID公司推出的MicroExplorer數(shù)字檢查相機(jī)。這個設(shè)備在連接彩色液晶手持設(shè)備的柔性電纜末端使用了一個CMOS圖像傳感器。
CMOS圖像傳感器前景光明
使用CMOS圖像傳感器的可視司機(jī)輔助駕駛系統(tǒng)可以提供巨大的安全好處。如果再配上功能強(qiáng)大的最新處理器、DSP芯片和軟件算法，這些成像系統(tǒng)將變成道路視頻、雷達(dá)和激光雷達(dá)數(shù)據(jù)流的處理中心，就如同是未來汽車的大腦。
這一系統(tǒng)可以通過司機(jī)臉部圖像檢測出司機(jī)是否疲勞，并能識別交通標(biāo)志。它們除了能夠提供車道偏離告警、盲點(diǎn)檢測、前視和后視圖像、行人檢測和夜視輔助功能外，還能在倒車和泊車時提供告警。
汽車用CMOS圖像傳感器產(chǎn)品十分豐富，一些最新和令人印象深刻的產(chǎn)品來自以下供應(yīng)商：Melexis、OmniVision Technologies、Sensata Technologies和ST。
Melexis的MLX75307 CMOS圖像傳感器特別適合汽車前視應(yīng)用，如高級司機(jī)輔助駕駛系統(tǒng)(ADAS)、遠(yuǎn)光燈輔助系統(tǒng)和夜視系統(tǒng)。它通過預(yù)先提醒司機(jī)潛在的危險來提高安全性。
此外，MLX75307可以在多重場景條件下提供190dB的寬動態(tài)范圍，在內(nèi)部場景(intra-scene)條件下提供110dB的動態(tài)范圍，并且具有750×400像素的分辨率。它的信噪比是102dB，工作電壓為3.3V，工作溫度范圍從-40℃到125℃。Melexis的這款圖像傳感器符合歐洲機(jī)器視覺協(xié)會(EMVA)的1288標(biāo)準(zhǔn)。
ST的VL5510車用CMOS成像器同樣適合ADAS應(yīng)用，它的特性包括：1024×512像素分辨率，7.14V/lux靈敏度，5.6×5.6μm像素尺寸，33aA/像素暗電流(25℃時)，34幀/秒幀速率，而且在近紅外波長處有很高的量子效率。該器件可以與意法微電子公司和Mobileye公司合作開發(fā)的一款專用視覺處理器配合使用。
Sensata Technologies公司針對ADAS應(yīng)用開發(fā)出了一款名為Avocet的CMOS圖像傳感器，它在低亮度和黎明行駛條件下可提供擴(kuò)展動態(tài)范圍和優(yōu)秀的靈敏度。它的動態(tài)范圍可達(dá)154dB，有RGB和RGBi兩個版本。Avocet采用的Autobrite寬動態(tài)范圍技術(shù)收購自賽普拉斯半導(dǎo)體公司。經(jīng)過近十年的研究，瑞士的電子與微技術(shù)中心(CSEM)在今年的ISSCC上展示了一款智能的CMOS圖像傳感器設(shè)計(jì)。這款名為Icycam的成像器在單個裸片上集成了DSP芯片和CMOS傳感器，可有效降低汽車、工業(yè)和消費(fèi)電子設(shè)備的成本。它具有QVGA的分辨率(320×240像素)，并集成了一個數(shù)字對數(shù)圖像壓縮器。
CMOS成像器進(jìn)入醫(yī)療電子應(yīng)用
CMOS成像器與性能強(qiáng)大圖像處理器的組合已經(jīng)在醫(yī)療電子領(lǐng)域作出很大貢獻(xiàn)。這些組合器件正在成像應(yīng)用、診斷探頭、可吞咽藥丸和大量其它應(yīng)用中找到自己的立腳之處。
例如，它們支持內(nèi)診鏡等一次性診斷儀器，比如Micro-Imaging Solutions公司的產(chǎn)品(圖4)。該公司在郵票大小的電路板上提供了完整的CMOS相機(jī)系統(tǒng)。多家CMOS相機(jī)公司已經(jīng)在制造片上相機(jī)設(shè)計(jì)。
圖4：由Micro-Imaging Solutions公司開發(fā)的這種醫(yī)療內(nèi)診鏡(a)在尖端安裝有一次性微型CMOS圖像傳感器(b)。成像芯片僅包含像素陣列和一些基本的時序和控制電路，使得整體封裝又小又便宜，并且對圖像分辨率沒有不良影響。
Micro-Imaging Solutions公司將開發(fā)重心放在視頻處理方面，同時使大多數(shù)時序和控制電路遠(yuǎn)離像素陣列平面，目的是盡量縮小成像器陣列的體積。時序和控制電路被直接堆疊在成像器平面后面，或離成像器隔幾米遠(yuǎn)，再通過射頻或可斷開的電纜鏈路連接成像器。
ADI公司則提供一對功能強(qiáng)大、集成度高的14位圖像處理器與CMOS和CCD傳感器配合使用。雙通道ADD9978A和四通道ADD17004這兩個圖像處理器可以為醫(yī)療和工業(yè)機(jī)器視覺應(yīng)用使用的75MHz數(shù)碼靜止相機(jī)和攝像機(jī)設(shè)計(jì)提供很高的清晰度、可視性和精度。
下一代產(chǎn)品
在CMOS和CCD圖像傳感器領(lǐng)域之外，SiOnyx公司正在開發(fā)一種叫“黑硅”的新材料。該公司相信這種材料可以設(shè)計(jì)出新一代的圖像傳感器，其靈敏度要比傳統(tǒng)硅片高出100倍，可以檢測從紫外線到短波紅外波段的能量，能工作在非常低的電壓電平，并且可以用超薄的0.5μm工藝制造(圖5)。最重要的是，這種材料兼容現(xiàn)有的CMOS工藝技術(shù)。
圖5：SiOnyx公司的黑硅架構(gòu)很好地解釋了這種概念在性能上優(yōu)于傳統(tǒng)硅片的原因。
“這是一種全新的材料，能夠兼容世界上絕大部分的制造基礎(chǔ)設(shè)施?！盨iOnyx公司總裁兼首席執(zhí)行官Stephen Saylor表示。
