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    激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。
    5D/6D標準型：
    1. 線性：0.5ppm .
    2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
    3. 線性分辨力：0.001um.
    4. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
    5. 范圍：800角秒
    6. 滾動角精度：1.0角秒
    7. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
    8. 直線度范圍：500um
    9. 垂直度精度：1角秒
    10. 溫度精度：0.2攝氏度
    11.濕度精度：5%
    12.壓力精度：1mmHg