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　　X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。
　　X熒光光譜儀的組成部分：
　　1、光源
　　激發元素產生特征X射線的機理是必須使原子內層電子軌道產生電子空位，從而對樣品進行光譜分析檢測。X熒光光譜儀中激發樣品的光源主要包括有：具有各種功率的X射線管、放射性同位素激發源、電子或質子激發源、同步輻射光源。其中X射線管又分為側窗、端窗、透射靶和復合靶。
　　2、高壓發生器
　　X熒光光譜儀通常采用諧波調制電路來作為高壓發生器，在檢測的時候，通過高壓觸發可控硅使之形成方波交流電源，經過變壓器件變壓之后再將其整流為高壓直流電源供X光管使用。
　　3、探測器
　　探測器能夠將X射線熒光光量子轉變成為一定形狀和數量的電脈沖，表征X射線熒光的能量和強度。在所X熒光光譜儀測量的能量范圍內具有較高的探測效率，而且輸出信號非常容易處理。
　　4、閃爍計數器
　　X熒光光譜儀的閃爍計數器是由閃爍體、光導、光電倍增管及相關電路共同組成，入射的Z射線與閃爍體作用使之發光，光子經光導進入光電倍增管電陰極并產生光電子，光電子在點位不同的各個再生級之間加速并產生倍增，能夠形成較強的電脈沖訊號。

標簽:                                    X熒光光譜儀