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　　電子探針顯微分析全稱電子探針x射線顯微分析，是一種顯微分析和成分分析相結合的微區分析。適用于分析試樣中微小區域的化學成分，是研究材料組織結構和元素分布狀態的有效方法。

　　電子探針顯微分析是利用聚焦電子束（電子探測針）照射試樣表面待測的微小區域，從而激發試樣中元素產生不同波長（或能量）的特征X射線。用X射線譜儀探測這些X射線，得到X射線譜。
　　根據特征X射線的波長（或能量）進行元素定性分析；根據特征X射線的強度進行元素的定量分析。
　　電子探針儀由電子光學系統和X射線譜儀系統組成。除探測系統外，其他系統與掃描電鏡一樣，常合用一套設備。
　　1.電子探針顯微分析儀的結構及分類：
　　波譜儀：利用特征X射線的波長不同來展譜，實現對不同波長X射線分別檢測的波長色散譜儀，簡稱波譜儀（wavelengthdispersivespectrometer,WDS）。
　　能譜儀：利用特征X射線的能量不同來展譜，實現對不同能量X射線分別檢測的能量色散譜儀，簡稱能譜儀（energydispersivespectrometer,EDS）。
　　（1）波譜儀
　　波譜儀主要由分光晶體、X射線探測器和數據處理系統組成；波譜儀的工作原理是：根據布拉格定律，從試樣中發出的特征X射線，經過一定晶面間距d的晶體分光，波長λ不同的特征X射線將有不同的衍射角θ。通過連續地改變θ，就可以在與X射線入射方向呈2θ的位置上測到不同波長λ的特征X射線信號。
　　（2）能譜儀
　　能譜儀主要由X射線探測器、前置放大器、脈沖信號處理單元、模數轉換器、多道分析器、小型計算機、顯示記錄系統等組成，能譜儀的關鍵部件是鋰漂移硅半導體探測器，習慣上記作Si（Li）探測器。能譜儀的工作原理是以電荷脈沖高度為依據將每個脈沖分類，歸入具有不同能量跨度的“道”，以“道”即能量為橫坐標，以進入該“道”的電荷脈沖數為縱坐標，得到樣品的能譜圖。
　　2.電子探針顯微分析的兩種方法：
　　電子探針分析有兩種基本分析方法：定性分析和定量分析。
　　（1）定性分析
　　定性分析是對試樣某一選定點（區域）進行定性成分分析，以確定點區域內存在的元素。
　　定性分析的原理：用光學顯微鏡或在熒光屏顯示的圖像上選定需要分析的點，使聚焦電子束照射在該點上，激發該點試樣元素的特征X射線。用X射線譜儀探測并顯示X射線譜，根據譜線峰值位置波長（或能量）確定分析點（區域）試樣中存在的元素。
　　X射線的對應的能量可以表示為：E=hv，式中：E為X射線的能量；h為普朗克常數。可以看出X射線的能量與頻率存在一一對應的關系，這是能譜儀定性分析的基本原理。
　　（2）定量分析
　　穩定電子束照射下，X射線譜扣除背景計數后，各元素同類特征譜線（常用Kα線）的強度值應與它們濃度相對應。
　　粗略近似，背景校正后的強度測量值I與其濃度C成正比
　　Ia：Ib…：Ii：…Ij＝Ca：Cb…：Ci…Cj；元素I的濃度Ci可由強度I的歸一化加以計算：
　　3.電子探針顯微分析的兩種掃描方式：
　　電子探針分析有兩種掃描方式：線掃描分析和面掃描分析。
　　（1）線掃面分析
　　使聚焦電子束在試樣觀察區內沿一選定直線（穿越粒子或界面）進行慢掃描。X射線譜儀處于探測某已知元素特征X射線狀態，得出反映該元素含量變化的特征X射線強度沿試樣掃描線的分布。
　　X射線譜儀處于探測未知元素狀態，得出沿掃描線的元素分布圖，即該線上包含有哪些元素。
　　（2）面掃描分析
　　聚焦電子束作二維光柵掃描；X射線譜儀處于探測某一元素特征X射線狀態，得到由許多亮點組成的圖像，即X射線掃描像或元素面分布圖像。
　　元素含量多，亮點密集。根據圖像上亮點的疏密和分布，確定該元素在試樣中分布：亮區代表元素含量高，灰區代表含量低，黑區代表含量很低或不存在。