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    靜電電動機是利用靜電為能量源的一種能量轉換裝置。具有結構簡單，空載轉速高的優點，隨著MEMS( 微機電系統)開發的深入，作為MEMS中關鍵部件的靜電電動機的研制越來越受到人們的關注。目前靜電電動機已經在一些基本上不需要功率輸出的場合得到了應用。
    靜電電動機的運行原理有兩種：一種是利用介電馳豫原理，另一種是利用電容可變原理。
    1.利用介電馳豫原理的靜電電動機一般被稱為靜電感應電動機或異步介電感應電動機。其具體原理如下：如果將一個介電轉子置于旋轉電場中，那么就會在轉子表面感應出電荷，由于介電馳豫，這些電荷滯后于旋轉電場，這些感應電荷與旋轉電場之間的偏移就產生了一個作用在轉子上的轉矩。如果轉子由多種介質構成，那么不同的介電馳豫過程就會被疊加,在不同的頻率下起作用。由于電動機運行時，轉子的角速度小于旋轉電場的角速度，因此這種電動機被稱之為“異步”，電動機的轉矩與效率都取決于轉子角速度與旋轉電場角速度的比。圖1 所示的是異步介電感應靜電電動機的結構示意簡圖。
    電極靜止排放，相差90°相角的兩個電壓用來產生旋轉電場。
    感應型靜電電動機有其自身的優勢：,感應電動機靠介電馳豫來建立轉子上的電荷分布，而不是靠轉子的凸極結構，于是感應電動機的轉子可以是光滑均勻的，甚至可以是液體。所以從制造工藝上講，感應電動機比電容可變電動機有優勢。第二，感應電動機是異步運行的，所以它可以不需要轉子位置的反饋就可以獲得較好的運行性能。第三，在感應電動機某一特定的運行狀態下可以提高軸承摩擦和磨損的特性。但是由于介電感應電動機材料的電性能對電動機的運行有很大的影響，因此對于感應電動機而言，對材料導電性能的控制就成為設計和制作上的難點。
    2.利用電容可變原理的靜電電動機就是指利用帶電極板之間基于靜電能的能量變化趨勢產生機械位移，這種作用力使兩個電極趨于互相接近并達到一能量小的穩定位置。電動機的定子為靜止電極，轉子為移動電極，通過限制轉子向定子方向移動的自由度，就可以使轉子獲得一個單一方向的位移。電容可變型靜電電動機的結構簡單，由性能良好的絕緣體和導電體構成,它的激勵只需要簡單的開環電壓脈沖就足夠了。
    電容可變型靜電電動機也有著一些缺點：，為了使之能夠運行,必須保證定轉子間的電容可變,因此對于頂驅式和側驅式電動機的轉子就必須是凸極的結構,這樣的結構做成平面化就需要復雜的工藝步驟。第二，為了獲得較大的電容變化以提高驅動轉矩，就需要減小定轉子之間的氣隙，這就又增加了加工的難度。第三，電容可變型靜電電動機是同步式電動機,因此即使是小的運行也需要轉子位置的反饋,這可以說是一個很重要的缺點。后,轉子易受到橫向電場力的作用,從而導致了軸承摩擦和磨損。