產(chǎn)品型號(hào)：IPEX-800 Series
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產(chǎn)品介紹：
IPEX 系列激光器專為制造環(huán)境中的高占空比操作而設(shè)計(jì)，可提供高功率紫外激光加工和性能。IPEX 激光器采用LightMachinery的exciPure 技術(shù)，可提供超長(zhǎng)的氣體壽命、光學(xué)穩(wěn)定性和對(duì)激光器工作參數(shù)的控制。操作準(zhǔn)分子激光器的單一成本是激光氣體消耗（也稱為動(dòng)態(tài)氣體壽命）。憑借exciPure 技術(shù)，LightMachinery 的氣體使用量比競(jìng)爭(zhēng)激光器提高了10 倍。這一技術(shù)突破大大降低了運(yùn)行激光器的成本。安裝在光學(xué)端口上的 EasyClean自動(dòng)閥允許密封激光室并保留氣體填充/鈍化，同時(shí)移除諧振器光學(xué)器件進(jìn)行清潔和維護(hù)。IPEX-800 激光器易于使用、維修簡(jiǎn)單且操作經(jīng)濟(jì)，結(jié)合了高精度準(zhǔn)分子加工的優(yōu)勢(shì)、當(dāng)今市場(chǎng)上的總擁有成本和正常運(yùn)行時(shí)間。上面顯示的陶瓷標(biāo)記是這些多功能工業(yè)工具的眾多應(yīng)用之一。
特征
exciPure 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)令人難以置信的 10 倍氣體壽命和運(yùn)行成本
無需昂貴的低溫氣體凈化器
EasyClean 自動(dòng)光學(xué)密封件可保持氣體填充并減少停機(jī)時(shí)間
光學(xué)維護(hù)
可選的高亮度光學(xué)元件，適用于需要低光束發(fā)散或延長(zhǎng)相干長(zhǎng)度的應(yīng)用
高穩(wěn)定性光學(xué)安裝座可實(shí)現(xiàn)光束指向精度
簡(jiǎn)單集成到工業(yè)處理系統(tǒng)中
優(yōu)勢(shì)
延長(zhǎng)氣體壽命、長(zhǎng)更換間隔、低運(yùn)行成本
簡(jiǎn)化光學(xué)維護(hù)，保留氣體填充和鈍化
提供200微弧度的指向穩(wěn)定性
清潔或更換光學(xué)元件后無需重新校準(zhǔn)
內(nèi)部、突發(fā)和外部觸發(fā)模式下的快速、準(zhǔn)確的能量穩(wěn)定
優(yōu)異的能量穩(wěn)定性，優(yōu)于1.0% (KrF)
去除微粒并保持光學(xué)元件清潔度
應(yīng)用
24/7 脈沖激光沉積
精密制造
材料加工
鉆孔
剝線
科學(xué)研究
激光雷達(dá)
激光誘導(dǎo)擊穿光譜
參數(shù)：
波長(zhǎng) | 193nm ArF | 248nm KrF | 308 XeCl | 351 XeF |
脈沖能量max. (mJ) IPEX-840 | 230 | 450 | 300 | 275 |
脈沖能量max. (mJ) IPEX-860 | 250 | 700 | 600 | 350 |
穩(wěn)定脈沖能量 (mJ) IPEX-840 | 150 | 400 | 250 | 225 |
穩(wěn)定脈沖能量 (mJ) IPEX-840 | 200 | 600 | 500 | 300 |
穩(wěn)定平均功率 (W)
IPEX-848 | 30 | 80 | 50 | 45 |
IPEX-846 | 15 | 40 | 25 | 22 |
IPEX-844 | 6.0 | 20 | 12 | 11 |
IPEX-842 | 3.0 | 10 | 6.0 | 5.5 |
IPEX-868 | 20 | 60 | 50 | 30 |
IPEX-866 | 10 | 30 | 25 | 15 |
IPEX-864 | 5.0 | 18 | 10 | 9 |
IPEX-862 | 2.5 | 9.0 | 5.0 | 4.5 |
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重復(fù)頻率max. (Hz)
IPEX-848 | 200 | 200 | 200 | 200 |
IPEX-846 | 100 | 100 | 100 | 100 |
IPEX-844 | 40 | 50 | 50 | 50 |
IPEX-842 | 20 | 25 | 25 | 25 |
IPEX-868 | 100 | 100 | 100 | 100 |
IPEX-866 | 50 | 50 | 50 | 50 |
IPEX-864 | 25 | 30 | 20 | 30 |
IPEX-862 | 12 | 15 | 10 | 15 |
脈沖持續(xù)時(shí)間：12 至 20 ns FWHM
能量穩(wěn)定性，1 Sigma：1% (KrF)
光束尺寸 (mm) (V x H)：IPEX-740 系列 12 x 26
光束尺寸 (mm) (V x H)：IPEX-760 系列 12 x 28
光束發(fā)散度 (mrad) (V x H)：1 x 3 或者可以使用高亮度不穩(wěn)定諧振器光學(xué)器件降低到 0.25mrad
電源要求：?jiǎn)蜗啵?/span>200 - 240 V 50/60Hz； 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW。8x2:1kW
冷卻要求：可選空氣冷卻至 25Hz 操作，水冷以更高的重復(fù)率
激光氣體：預(yù)混或單個(gè)氣瓶
重量：8x8 型號(hào) 400kg，8x6/8x4/8x2 型號(hào)：380kg
