中科院 傳感器：【中國科學(xué)報】我國首套深海原位熒光傳感器海試成功
近日，我國三種深海原位熒光傳感器工程樣機(jī)在深海勇士號/探索一號TS16南?？瓶己酱沃?，搭載“深海勇士號”載人潛水器先后11次進(jìn)行水下試驗，最大潛深達(dá)3497.6米。此三種傳感器由中科院大連化學(xué)物理研究所研究員關(guān)亞風(fēng)、副研究員耿旭輝團(tuán)隊與中科院深?？茖W(xué)與工程研究所共同研制，前者負(fù)責(zé)深海原位有機(jī)組分氣相色譜—質(zhì)譜聯(lián)用儀與熒光傳感器的研發(fā)，后者負(fù)責(zé)耐壓水密封外殼的研發(fā)和海試。
該系列傳感器包括深海原位葉綠素?zé)晒鈧鞲衅?、深海原位微生物熒光傳感器和深海原位多環(huán)芳烴熒光傳感器，為我國首套該類型的深海原位熒光傳感器。其中，深海原位微生物熒光傳感器也是國際首套該類型儀器。
經(jīng)中科院深?？茖W(xué)與工程研究所測試，此三種傳感器均通過凈水壓力試驗，最大工作深度均為4500米。本航次海試過程中，深海原位葉綠素?zé)晒鈧鞲衅鞴策M(jìn)行5潛次海底試驗，最大試驗深度為3497.6米；深海原位多環(huán)芳烴熒光傳感器共進(jìn)行3潛次海底試驗，最大試驗深度為3340.0米；深海原位微生物熒光傳感器共進(jìn)行3潛次海底試驗，最大試驗深度為2371.4米。
該系列傳感器分別測量了南海海水中從海平面到海底整個剖面的葉綠素a、微生物和多環(huán)芳烴的濃度。其中葉綠素a的濃度，反映了深海中浮游植物生物量或現(xiàn)存量，是計算初級生產(chǎn)力的基礎(chǔ)；微生物的濃度，具有很高的科學(xué)研究價值和衍生的經(jīng)濟(jì)價值；多環(huán)芳烴的濃度則有助于勘探海底原油溢油，具有重要的能源勘探價值。
本項目是中科院戰(zhàn)略性A類先導(dǎo)專項“深海/深淵智能技術(shù)及海底原位科學(xué)實驗站”的子課題。此次勘探所得數(shù)據(jù)為海洋生物、物理海洋等多學(xué)科研究提供了重要的原始數(shù)據(jù)。
?。ㄔd于《中國科學(xué)報》 2020-04-15 第4版 綜合)
中科院 傳感器：中科院聲學(xué)所開發(fā)出新型聲表面波溫度傳感器件
高溫環(huán)境引起的熱輻射損耗會導(dǎo)致傳感器器件有較大的聲波衰減，因此在這種環(huán)境下工作的傳感器應(yīng)具有足夠大的品質(zhì)因數(shù)(Q)且損耗較低。傳統(tǒng)的有線有源傳感器不能用于高溫環(huán)境下的溫度測量，而基于聲表面波(surface acoustic wave，SAW)的無線無源溫度傳感器為此提供了良好的解決方案。
中國科學(xué)院聲學(xué)研究所超聲技術(shù)中心博士生李學(xué)玲及其導(dǎo)師王文等，采用短脈沖法提取精確的反射系數(shù)，并用典型的耦合模 (coupling of modes，COM)模型，對LGS/Pt結(jié)構(gòu)聲表面波溫度傳感器件進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計，仿真和試驗證明該器件具有良好的高溫傳感性能。相關(guān)研究成果在線發(fā)表在Sensors上。
研究人員基于不同Pt膜厚與波長比的LGS/Pt器件的結(jié)構(gòu)開展實驗研究?？蒲腥藛T采用最小二乘法對實驗數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合，得出反射系數(shù)計算公式，利用有限元方法提取Pt/LGS的其他COM參數(shù)，通過典型的COM模型對Pt/LGS結(jié)構(gòu)的單端口諧振器進(jìn)行模擬，并確定了具有較大Q值的設(shè)計參數(shù)。
研究人員利用光刻技術(shù)研制400MHz單端口聲表面波諧振器，用網(wǎng)絡(luò)分析儀對其測量得到較高的Q值，測量結(jié)果與模擬結(jié)果吻合良好。在50～650℃的溫度范圍里，測試所制備的傳感器件的高溫特性，測試結(jié)果顯示其具有良好的穩(wěn)定性和線性TCF( ～25 ppm/°C.)，證明該器件具有較好的高溫傳感性能。
研究表明，聲表面波高溫傳感技術(shù)可用于極端高溫環(huán)境下的高靈敏度溫度監(jiān)測和預(yù)警。
研究工作得到國家自然科學(xué)基金聯(lián)合重點基金項目等的資助。
中科院 傳感器：中科院微電子所創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊助力高端傳感器國產(chǎn)化
人民網(wǎng)北京11月25日電(趙竹青)記者近日從中國科學(xué)院微電子研究所獲悉，該所在助力高端傳感器國產(chǎn)化方面又邁出扎實一步。研究所旗下創(chuàng)業(yè)團(tuán)隊中科銀河芯近日正式發(fā)布了包括芯片、模組、設(shè)備在內(nèi)的5款高性能傳感器產(chǎn)品，可應(yīng)用于醫(yī)療美容、工業(yè)領(lǐng)域、智能制造領(lǐng)域等多個場景。
中科銀河芯創(chuàng)始人郭桂良介紹，傳感器作為現(xiàn)代信息技術(shù)的基礎(chǔ)之一，已經(jīng)在各應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，但目前仍存在精度不夠、測量指標(biāo)單一、復(fù)雜環(huán)境下靈敏度下降、智能化低、國產(chǎn)化低等不足，“特別是一些高性能的中高端傳感器，有95%依賴進(jìn)口，90%以上的芯片依賴國外技術(shù)?！?br/>他表示，脫胎于中科院微電子所的中科銀河芯團(tuán)隊，憑借其在芯片設(shè)計和軟件開發(fā)等方面的積累的大量技術(shù)和經(jīng)驗，實現(xiàn)了包括溫濕度傳感器系列、壓力傳感器系列、電子標(biāo)簽系列產(chǎn)品等為主方向的產(chǎn)品研發(fā)設(shè)計，部分產(chǎn)品已實現(xiàn)小規(guī)模量產(chǎn)。
此次發(fā)布的高精度溫度傳感器芯片、帶1024bit存儲的溫度傳感器芯片、有線電子標(biāo)簽芯片、單總線溫濕度模組、超聲波風(fēng)速風(fēng)向儀等產(chǎn)品，分別具有高精度、寬范圍、可編程、超低功耗、可多顆串聯(lián)應(yīng)用、可進(jìn)行長線通信、五合一精確測量等特點，能夠滿足溫度、濕度、風(fēng)速、風(fēng)向、大氣壓等或集成一體的多個測量需求。
郭桂良舉例說，高精度溫度傳感器芯片具有高低溫報警功能，當(dāng)芯片溫度高于最高閾值或者低于最低閾值時會給出報警信號，可廣泛應(yīng)用于體溫測量、藥品儲藏、醫(yī)療設(shè)備、石油化工等高精度溫度檢測場合。超聲波風(fēng)速風(fēng)向儀可精確測量環(huán)境風(fēng)速、風(fēng)向、溫度、濕度和大氣壓。
“在產(chǎn)品設(shè)計上，除了應(yīng)用范圍最廣的溫度指標(biāo)和高精度和寬范圍外，也加入了濕度、水分等的多指標(biāo)協(xié)同監(jiān)測。”郭桂良說，團(tuán)隊設(shè)計的高精度水分溫度一體傳感器已在糧、土壤等領(lǐng)域開展應(yīng)用方案的研發(fā)并開始規(guī)模測試，下一步將繼續(xù)助力解決傳感器市場“痛點”。
來源: 人民網(wǎng)
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中科院 傳感器：傳感技術(shù)國家重點實驗室
傳感技術(shù)國家重點實驗室(北方基地)
一、基本情況
傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室成立于1987年。實驗室面向國家重大需求、國民經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場和世界科技前沿，將基礎(chǔ)微電子和微機(jī)械加工技術(shù)的傳感器與微系統(tǒng)作為主要研究方向，開展基礎(chǔ)性、戰(zhàn)略性、前瞻性的研究工作。實驗室長期致力于提高我國傳感技術(shù)的自主創(chuàng)新能力和國際競爭力，推動我國傳感技術(shù)應(yīng)用和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)服務(wù)，并成為我國傳感技術(shù)的研究基地和高素質(zhì)、高水平傳感技術(shù)人才的培養(yǎng)基地。
傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室（北方基地）依托于中國科學(xué)院電子學(xué)研究所，具有電子學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)、信息技術(shù)、生物技術(shù)、納米技術(shù)等多學(xué)科交叉的綜合優(yōu)勢，建立起一個以MEMS技術(shù)和器件為基礎(chǔ)的綜合研發(fā)平臺，研制出電場傳感器、諧振式壓力傳感器、氣象傳感器、電化學(xué)地震檢波器、光纖聲傳感器等高性能物理量傳感器；在氣體傳感器、水環(huán)境監(jiān)測微傳感器等化學(xué)量傳感器和神經(jīng)信息檢測、低成本便攜式生化快速檢測等生物量傳感器方面取得重大進(jìn)展，獲得國家發(fā)明二等獎；在SPR 生化分析儀、離子遷移譜儀、微型氣相色譜儀、集成光表界面原位分析儀、可穿戴式健康監(jiān)護(hù)設(shè)備等儀器儀表系統(tǒng)方面突破多項關(guān)鍵技術(shù)，實現(xiàn)了多項技術(shù)轉(zhuǎn)讓；在加工工藝、敏感材料、信息處理、系統(tǒng)集成、傳感器測試等方面積累了豐富的工作經(jīng)驗和人才資源。
實驗室現(xiàn)有面積4400平方米，包括1000平米凈化室，室內(nèi)擁有一條完整的微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）加工工藝線，能夠進(jìn)行雙面光刻、各向同性及異性腐蝕、反應(yīng)離子深刻蝕、Si-Si鍵合、 Si-玻璃鍵合、準(zhǔn)LIGA加工、PDMS“鑄造”微器件、真空封裝等。凈化室內(nèi)還擁有PECVD、LPCVD、射頻濺射、電子束蒸發(fā)等大型鍍膜裝置、以及高溫擴(kuò)散爐、退火爐，激光劃片機(jī)、激光修阻儀、金絲球壓焊機(jī)、可編程拋光機(jī)、半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、臺階儀、應(yīng)力測試儀等。實驗室于2012年還新進(jìn)一批薄膜表征設(shè)備，包括：掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)、全內(nèi)反熒光顯微鏡(TIRF)、寬光譜橢圓偏振儀、共聚焦顯微鏡、拉曼光譜儀等?；谶@些先進(jìn)的儀器設(shè)備，實驗室不僅能夠滿足內(nèi)部人員的日常科研工作，還對外承接器件加工、封裝、測試等業(yè)務(wù)。
二、學(xué)術(shù)委員會組成
名譽(yù)主任: 方家熊
顧 問: 宋宗炎 鮑敏杭 劉忠立 錢世鈞
主 任: 吳一戎
副 主 任: 崔大付 江 雷
委 員: 蔡新霞 樊春海 樊尚春 龔海梅 郝一龍 黃慶安 李昕欣 劉 明
劉雙江 梅 濤 夏善紅 謝志峰 楊富華 張文棟 趙建龍 朱自強(qiáng)
三、研究方向
主要研究方向
四、聯(lián)系方式
電話：010-，傳真：010-。
