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  • 系列名稱：EE-SPY801 / 802 晶圓片托架落座傳感器
    系列描述：

    信息更新: 2013年12月19日

    通過與導槽并用的方式設定落座位置

    與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂

    獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架

    采用抗干擾光的變調光方式

    使用環保導線（無滑石粉）

    信息更新: 2013年12月19日


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